Vakuuminių dengimo mašinų kūrimą Kinijoje riboja daug veiksnių, ypač tantalo ir dalių, pagamintų iš tantalo, pagrindinės žaliavos, naudojamos dengimo mašinų garavimo šaltiniams, apdirbimas.Tantalas ir tantalo lydiniaiDėl aukštos lydymosi temperatūros, gero stabilumo ir žemo garų slėgio esant aukštai temperatūrai tinka gaminti pagalbinius priedus, šildytuvus ir šilumos skydus vakuuminėje įrangoje. Šiuo metu tik nedaugelis šalies įmonių užsiima tantalo dalių, skirtų vakuuminiams garintuvams, gamyba, o tai lemia didelę priklausomybę nuo tantalo dalių, skirtų vakuuminiams garintuvams, importo, be to, Kinijoje kyla daug sunkumų gaminant ir gaminant tantalo dalis vakuuminiams garintuvams.
Atsparus šildymas dažnai naudojamas kaip garavimo šaltinis medžiagoms, kurių garavimo temperatūra yra 1 000~2 000 C. Paprastai reikalaujama, kad garavimo šaltinio medžiagos lydymosi temperatūra būtų apie 1000 C aukštesnė nei garavimo temperatūra. Darbinė temperatūra, pusiausvyros garų slėgis yra žemas, trapumas po aušinimo aukštoje temperatūroje yra mažas ir turi gerą cheminį stabilumą vakuuminėje aplinkoje. Todėl tantalas yra įprasta vakuuminio garinimo medžiaga.
Tantalas yra šviesiai pilkas metalas, turintis šiek tiek mėlyną spalvą ir didelį tankį (16,5) × 103 kg/m3, aukštą lydymosi temperatūrą (2 996 C), mažą tiesinio plėtimosi koeficientą (6,5 tarp). 0 ir 100 C) × 10-6 K-1), plastiškas, kietesnis už varį, šaltai tempiamas į ploną vielą arba foliją. Tantalo šilumos laidumas 300 K temperatūroje yra 52,1 W (m K) -1, o tamprumo modulis yra 192 × 103 MPa kambario temperatūroje.
Tantalo kiekis Ta1 yra didesnis nei 90,35 proc.; Ta2 yra daugiau nei 79,50 procentų tantalo. Tačiau tantalo grynumas yra didesnis nei 99,95 procentai įprastų vakuuminio garinimo dengimo ir 99,99 procentų aukščiausios klasės OLED dengimo mašinų. Akivaizdu, kad naudojant esamus prekės ženklus ir standartus negalima įvykdyti pagrindinių vakuuminio dengimo tantalo reikalavimų. Labai gryno tantalo gamyba tapo pagrindiniu veiksniu, ribojančiu vakuuminio dengimo mašinų tantalo dalių lokalizaciją.
Kitų metalų elementų (tokių kaip Fe, Ni ir kt.) žema lydymosi temperatūra arba aukštas pusiausvyros garų slėgis (pvz., W) arba mažas tantalo medžiagos stabilumas (Ti). Kai žemo grynumo tantalo medžiaga išgaruoja aukštoje temperatūroje, kiti metaliniai elementai gali suirti ir išgaruoti arba reaguoti su kitomis garinimo kameroje esančiomis molekulėmis, todėl plėvelės komponentai nukrypsta nuo garintuvo medžiagos komponentų. Todėl didelio grynumo tantalo dalių išgarinimas vakuumu gali žymiai sumažinti garavimo šaltinio medžiagos taršą į dangą.
