1. Grynumas
Purškimo taikinio grynumas turi būti ne mažesnis kaip 99,95 proc. Kuo didesnis grynumas, tuo geresnis purškiamos plėvelės veikimas.
2. Tankis
Santykinis purškimo objekto tankis turėtų būti didesnis nei 98 procentai. Didesnio tankio taikinys gali sumažinti plėvelės dalelių aptaškymą dengimo proceso metu ir taip pagerinti plėvelės kokybę.
3. Grūdų struktūra
Molibdenas purškimo taikinys yra polikristalinė struktūra. Purškimo metu tiksliniai atomai lengvai išpurškiami artimiausia šešiakampių atomų kryptimi. Norint pasiekti maksimalų purškimo greitį, reikia padidinti purškimo greitį keičiant taikinio kristalinę struktūrą.
4. Grūdelių dydis
Grūdelių dydis gali svyruoti nuo mikronų iki milimetrų. Taikinio su smulkiais grūdeliais purškimo greitis yra greitesnis nei taikinio su stambiais grūdeliais, o nusodintos plėvelės storio pasiskirstymas taip pat yra gana vienodas taikiniui su nedideliu grūdelių dydžio skirtumu.
5. Taikinio ir važiuoklės surišimas
Prieš purškiant, taikinys turi būti prijungtas prie deguonies neturinčios varinės važiuoklės, kad būtų užtikrintas geras šilumos laidumas tarp taikinio ir važiuoklės. Po surišimo turi būti atliktas ultragarsinis patikrinimas, siekiant užtikrinti, kad jų dviejų neprisirišantis plotas būtų mažesnis nei 2 procentai, kad būtų patenkinti didelės galios purškimo reikalavimai.
